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[精密加工相談室]   技術情報 - 微細加工技術
   
  弊社の関わる微細加工技術の紹介です。
Last Updated:2019-02-22           
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高純度Ni(99.99%)φ0.6x0.05tx3L極細管"真空部品用スリーブ"!
[高純度Ni管φ0.6x0.05tx3L微細加工] ・材質:高純度Ni(99.99%)
・仕様:φ0.6x0.05tx3L
・メモ:真空部品用スリーブ。
スーパーインバー(極低膨張合金)"内径へ微細穴加工"!
[微細穴加工] ・材質:スーパーインバー(極低膨張合金/Super Invar:Ni31,Co4,Mn0.3,Fe bal)
・仕様:外径φ1.52/内径φ0.38x深さ2.3
・用途:真空部品/光通信部品/医療器部品など。
高純度ニッケル管(Ni:99.99%)"外径へ微細溝入れ加工"!
[微細溝加工] ・材質:高純度ニッケル(Ni:99.99%)
・仕様:外径φ4.5/V溝⇒深さ0.19x谷幅0.22x山幅0.12
・用途:真空部品用スリーブなど。
純モリブデン(Mo:99.95%)"先端八面"D"カット微細加工"!
[Mo8面Dカット加工] ・材質:純モリブデン(Mo:99.95%)
・仕様:外径φ2.39/先端八面"D"カット部=0.89Wx3.85Lx四面/0.33Wx3.85Lx四面
・メモ:回路焼付用等の特殊光源向け電極など。
樹脂吐出用ノズル治具(2分割型システム)"先端ノズル部0.03mmに精密微細加工"!
[樹脂吐出ノズル治具] ・材質:C3604(Cu_57-61/Pb_1.8-3.7/Fe_0.5max/Fe+Sn_1.2max/Zn_bal.)
・仕様:概略サイズ_φ65xφ40x58L
・メモ:樹脂製極細線吐出用のノズル治具。
全長検査用治具(ハサミ型ゲージ)"寸法精度5μm以内に精密微細加工"!
[光ファイバー製作用治具] ・材質:SKD11(C_1.4-1.6/Si_0.4max/Mn_0.6max/Cr_11-13/Mo_0.8-1.2/Fe_bal.)
・仕様:概略サイズ_外形_15tx80x100/開口部Limit_60.13-59.87
・メモ:開口部指定寸法精度を5μm以内に抑えている。
難削材純ニッケル極細丸棒に"微細アヤメローレット加工"!
[Ni極細丸棒アヤメローレット加工] ・材質:純ニッケル(Ni99%)
・仕様:φ0.8xφ1.2x10.5L(φ0.8一部に微細アヤメローレット加工)
・メモ:難削材の純ニッケル(Ni99%)極細丸棒に精密加工技術による微細アヤメローレットを施す。
アルミナセラミクス材の"φ0.29極細研磨加工品"!
[アルミナ極細研磨加工] ・材質:アルミナセラミクス材(AL2O3)
・仕様:φ0.29±0.005x22L
・メモ:超精密研磨技術により破断せずに加工されたもの。
ステンレス材やニッケル合金材の"微細深絞り加工品"!
[微細深絞り加工] ・材質:ステンレス材やニッケル合金材
・仕様:φ0.5〜φ2x0.05t〜0.1tx5L〜10L
・メモ:写真のサンプル品(金メッキ処理)はセンサー保護管や医療器用部品。
BNコンポジット材ボート用微細加工"ザグリ穴底厚⇒0.2t"!
[BNコンポジット材ザグリ加工] ・材質:BNコンポジット
・仕様:0.6tx1.25Wx36L(ザグリ穴=0.4dx0.85Wx2.8L⇒4ヵ所)
・メモ:高硬度・高脆性のBNコンポジット材へ底厚僅か0.2tを残し微細ザグリ加工。 
超硬(材種G2)φ0.3±0.005x100L"外径ミクロン台公差にて研磨加工"!
[超硬丸棒φ0.3微細研磨加工] ・材質:超硬(材種G2)
・仕様:φ0.3±0.005x100L(外径研磨品)
・メモ:半導体検査用コンタクトプローブ向けの用途。
コバール薄板(0.1t)プレートの四隅に微細ザグリ加工!
[kovar薄板(0.1t)の四隅に微細ザグリ]

・材質:コバール(Fe-29Ni-17Co)
・仕様:0.1tx3.2Wx3.8L(写真/左:定規と比較)、(写真/右:四隅○印内微細ザグリ⇒各々異なる形状)
・メモ:セラミックのメタライズへ使用。電極ポストなどの用途。

「ナノの輝き!」純アルミA1070"鏡面"ナノ研磨(⇒低硬度材のナノレベル研磨は難しいとされる。表面に壁が映り込む)
[純アルミA1070ー鏡面ナノ研磨]

 

[鏡面ナノ研磨粗度データ]【粗度測定データ】

材質:純アルミ(A1070/99.7%)
仕様:サイズ→1tx50x100/表面粗度→Ra8.81nm(ナノメーター=100万分1mm=1000分1µm)

石英ガラス厚さ1.5t断面に「プリズム」鏡面研磨加工!
[ガラス1.5t断面プリズム研磨]

材質:石英ガラス

仕様:概略サイズ "1.5tx39Wx61L"。

メモ:矢印部の3断面(厚さ=1.5t)をプリズム鏡面研磨加工。

精密引抜製管技術による"歯車型(断面)異形黄銅管"!
[歯車型異形黄銅管] ・材質:黄銅管(Cu:65/Zn:35)
・仕様:外周径φ20x内径φ16(山数16x高さ1)
・メモ:精密引抜製管技術による歯車型(断面)異形黄銅管の長尺材を製造し、切断加工して部品とする。
難削材純ニッケルφ18丸棒外径上への"平目ローレット加工"!
[純NI材タテ目ローレット] ・材質:純ニッケル(Ni:99%)
・仕様:φ18丸棒外径上平目ローレット(V溝x0.3ピッチ/62山)
・メモ:難削材純ニッケルに切削による微細平目ローレット加工。
SUS304微細パイプφ1.2xφ0.3x20Lに"外径ループ加工"!
[SUS304φ1.2xφ0.3外径ループ加工品] ・材質:SUS304
・仕様:φ1.2xφ0.3x20L(外径ループ加工)
・メモ:内径に光ファイバーが通る。外径ループは樹脂モールドの為の抜け止め。
コバール製の段付きピン"微細加工"!
[コバールピン微細加工] ・材質:コバール(Fe-29Ni-17Co)
・仕様:φ0.47x
φ0.31x4.28L(段付きピン)
・メモ:セラミック及びガラスなどの封止用として使用。
難削材純タングステンφ3x30L先端部を"マトリックス"状に微細加工!
[Wφ3先端微細加工] ・材質:純タングステン(W:99.95)
・仕様:φ3x30L(先端部:V字状溝/深さ0.3)
・メモ:溶接用電極として使用。
難削材純タングステン先端部を"R0.015/角度30度"で精密研磨加工!
[W先端R0.015研磨加工] ・材質:純タングステン(W:99.95)
・仕様:φ3.11x23L(先端部:R0.015/角度30度研磨)
・メモ:放電用電極として使用。写真右側は先端部を拡大したもの。
高純度ニッケル製「微小パイプ(極細管)」!
[高純度ニッケル極細管]

材質:高純度ニッケル(Ni/99.9%)

仕様:概略サイズ⇒φ1.47xφ1.01x3.96L。

メモ:用途例として特殊真空管用スリーブ等がある。

石英ガラス断面「プリズム」研磨加工!
[ガラス断面プリズム研磨]

材質:石英ガラス

仕様:概略サイズは "2tx34Wx60L"。

メモ:矢印部の3断面<2t>を1/2λ(ラムダ)にてプリズム研磨加工。

純タングステン製"超極細"コンタクトプローブ用「プランジャー」!

[W製ワイヤープローブ加工例]

材質:純タングステン(W:99.95%)
仕様:概略サイズは拡大写真参照(φ0.14〜φ0.22x30L)。
メモ:高強度の純タングステン使用により、ファインピッチデバイス検査用プローブの耐久性向上。

ソフトフェライト製「微小フェライトコア」の加工例!
[微小フェライトコア]

材質:ソフトフェライト

仕様:概略サイズは拡大写真参照。

メモ:用途例として光通信用モジュールの「フェライトコア」等がある。

純タングステン製コンタクトプローブ用「プランジャー」の微細加工例!
[W製コンタクトプローブ用プランジャー加工例]

材質:純タングステン(W:99.95%)

仕様:概略サイズは拡大写真参照。

メモ:従来、鋼材や銅合金製であるコンタクトプローブ用「プランジャー」に高強度の純タングステン製を使用する事により耐久性向上が見込まれる。

極小内径の快削黄銅管を使用した微細加工!
[極小内径快削黄銅管]

・材質:快削黄銅管(Cu60/Pb1.2/Zn残)
・仕様:φ6.5xφ1x300L(加工済み写真/左)、φ5.5xφ0.5x300L(加工済み写真/右)
・メモ:用途はデバイス用の冷却管(内径φ1とφ0.5の2種類/内径側に冷却用液体が通る)。右側写真は使用した素材管(φ5.5xφ0.5xL)。

アルミナ製微小ルツボ加工!
[アルミナ微小ルツボ]

*材質:アルミナ(AL2O3/99.5%)

*仕様:外径φ7x内径φ6x22L(肉厚0.5t/底板1t)

*メモ:脆いアルミナ材に対する薄肉、微小加工。用途は特殊微小ルツボ。

難削材純タングステン先端部を角度8.3度で鋭角研磨加工!
[W先端鋭角加工]

・材質:純タングステン(W:99.95)
・仕様:φ3x150L(先端部:角度8.3度/面粗さ:Ra0.4)
・メモ:先端部を角度8.3度で鋭角研磨加工。写真右側は先端部を顕微鏡にて拡大。

難削材純タングステンにφ0.5穴加工!
[Wφ0.5微細穴加工]

材質:純タングステン(W:99.95)

仕様:外径φ8x内径穴φ0.5(開口部90度テーパー)

メモ:難削材純タングステンにφ0.5穴加工、開口部90度テーパー部はラップ研磨。用途は特殊ノズル。

軟質系材料の鏡面研磨(面粗度:Ra0.1μm以下)!
[軟質系材鏡面研磨]

材質:アルミ合金(左側/A5056),無酸素銅(右側/C1020)

仕様:アルミ合金、無酸素銅とも同一サイズ/φ23x3t(mm)

メモ:鏡面研磨が困難といわれる軟質系材料(アルミ系、銅系)において、面粗度Ra0.1μm以下を実現。

BN材で微細チューブ形状品(穴径φ0.6)!
[BN-tube]

材質:BN(ボロンナイトライドセラミクス)

仕様:φ3xφ0.6x30L(mm)

用途:微小熱電対用保護管

石英ガラスをスクウェアに「ファインカット!」
[石英ガラスファインカット]

材質:石英ガラス

仕様:2.6tx4wx20L(mm)

用途:通信デバイス

「ナノの輝き!」高純度アルミナ”鏡面”ナノ研磨(⇒鏡面の為、表面に照明ライトが映る)
[高純度アルミナー鏡面ナノ研磨]

 

[鏡面ナノ研磨粗度データ]【表面粗度測定データ】

材質:高純度アルミナ(AL2O3/99.99%)
仕様:サイズ→@φ41xφ23x0.5t/A0.5tx13x18/B0.5tx20x60/表面粗度→Ra10.86nm(ナノメーター=100万分1mm=1000分1µm)
用途:アクセサリー用部品

ソフトフェライト薄板基板(0.5t)に極小穴加工φ0.13!
[フェライト0.13穴]

材質:ソフトフェライト(板厚=0.5t)

仕様:穴径φ0.13mm/最小穴間ピッチ0.2mm

用途:半導体向け治具

セラミクス薄板(0.5t)を度0.9µm(0.0009mm)仕上げ!
[AL2O3平坦度0.9μm]

 

 

材質:アルミナセラミクス(AL2O3/99.9%)
仕様:0.5tx4.9x8/平坦度→0.9µm
用途:HDD用ヘッド測定器部品

[平坦度データ]

【レーザー干渉計測定データ】

驚異!極薄セラミクス板(0.1t)をナノ研磨!(1ナノメーター=100万分1ミリ=1000分1ミクロン)
[AL2O3ナノ研磨]

 

[ナノ研磨表面粗度データ]【表面粗度測定データ】

材質:アルミナセラミクス(AL2O3/99.9%)
仕様:サイズ→0.1tx4x4.8/表面粗度→Ra5.38nm(ナノメーター)
用途:HDD用ヘッド測定器部品

マイクロマシン向け微細加工技術
[モーターシャフト]

材質:SUS304(18〜20Cr,9〜13Ni,0.03Cu,Fe bal.)

仕様:最小径φ0.15mm/最大径φ0.3mm/長さ1.0mm

用途:マイクロマシン用モーターシャフト

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